| 精度级别 | 最大允许值% | ||||
| 
				示值相对误差 q  | 
			
				示值重复性相对误差 b  | 
			
				示值进回程相对误差 v  | 
			
				零点相对误差 F0  | 
			
				相对分辨力 a  | 
		|
| 0.5 | ±0.5 | 0.5 | ±0.75 | ±0.25 | 0.25 | 
| 1 | ±1.0 | 1.0 | ±1.5 | ±0.5 | 0.5 | 
| 精度级别 | 同轴度最大允许值% | 
| 0.5 | 12 | 
| 1 | 15 | 
| 精度级别 | 0.5 | 1 | 
| 横梁移动速度相对误差% | ±0.5 | ±1 | 
| 精度级别 | 0.5 | 1 | 
| 零点漂移% | ±0.5 | ±1 | 
| 
				引伸计 精度级别  | 
			最大允许值 | |||||
| 
				标距相对误差 qle %  | 
			分辨力a | 示值误差a | 
				示值进回程相对误差 μ %  | 
		|||
| 
				相对 re/li %  | 
			
				绝对 re µm  | 
			
				相对误差 qe %  | 
			
				绝对误差 li-lt µm  | 
			|||
| 0.5 | ±0.5 | 0.25 | 0.5 | ±0.5 | ±1.5 | ±0.75 | 
| 1 | ±1.0 | 0.50 | 1.0 | ±1.0 | ±3.0 | ±1.5 |